授課題目:SEM儀器操作
講師:郭瀚介工程師
任職單位:益弘儀器股份有限公司
講座主持人:廖炳傑教授
記錄者:詹英瀚
記錄者指導教授:何明雄 邱英嘉
上課時間:101.4.24(9 :20-12:10)
講師:郭瀚介工程師
任職單位:益弘儀器股份有限公司
講座主持人:廖炳傑教授
記錄者:詹英瀚
記錄者指導教授:何明雄 邱英嘉
上課時間:101.4.24(9 :20-12:10)
心得:這次講座讓我了解到, 成像解析度的好壞與樣品的製做準備工作有著極大的關聯性。影響成像解析度的因子大致上有試片本體的清潔度、乾燥度、導電性、磁性以及系統的真空度。乾燥度-若試片具有水分或有揮發性溶劑,必須先放於加熱板上烘烤直到去除水分或是溶劑。清潔度-試片表面若有受到汙染,在不破壞材料表面的前提下先做一般性的清潔工作。對於導電性較差或是不具導電性的材料,須先在其表面上鍍上一層金作為導電層並在試片的邊緣貼上膠帶將電荷導引出表面層,藉以避免電子束轟擊後在試件表面上遺留之電荷累積,在畫面上因而出現一些光,因而影響觀測的畫質。所以這次講座讓我學習到很多,sem在操作上有很多要注意的地方。